Polovodiče a prístrojové vybavenie

Domov / Aplikácia / Polovodiče a prístrojové vybavenie
Polovodiče a prístrojové vybavenie

Polovodiče a prístrojové vybavenie

V sektoroch vodivých materiálov a prístrojovej techniky slúžia príruby ako kľúčové komponenty, ktoré súčasne plnia funkcie pripojenia, tesnenia, inštalačného umiestnenia, tepelného manažmentu a odolnosti voči znečisteniu. V systémoch vysokého/ultravysokého vákua pre polovodičové procesy, ako je litografia, leptanie a nanášanie, príruby typov vrátane KF, CF a ISO umožňujú štandardizované rozhrania a tesnenie medzi komorami, zostavami čerpadiel a ventilmi. Tým sa eliminuje kontaminácia nečistotami, čím sa zabezpečí miera výťažnosti procesu plátku.